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Equipment Dept   设备事业部
PARYLENE P280
详细介绍

 外形尺寸

L2600mm W1000mm   H 2000mm

内腔尺寸

∅ 640mm    H 800mm

旋转层

∅ 560mm    H650mm

沉积材料

Parylene N, C, (D), F-VT4,F-AF4

涂层厚度范围

0.05 to 100 micrometers

高温分解

4Kw / max. 850℃

旋转台8层可调